HM-1000 透明体厚み・うねり計測装置
特 長
OCT(光干渉断層像)技術を応用したガラスなどの透明体の非破壊断層計測装置です。
- 最大8層までの厚みを検出できます。
- 計測範囲は20μm～17mmで繰返し精度は2μmです。
- 計測速度が高速(250回/秒)で高精度の計測ができます。
- 曲面や特殊形状の対象物でも、最適なシステム提案ができます。
使用例
- 透明な樹脂パネルやフィルムの厚み・うねり計測
- フラットパネルディスプレイのガラス層、樹脂層、接着層の厚み計測
- 透明なチューブの内径計測
- レンズの厚み計測
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HM-1000
LUCAS ナノうねり計測ユニット/レンズユニット波面計測システム
特 長
◆LUCAS-NUK
安定したリアルタイムうねり計測を低価格で実現したシステムです。
- 高さの計測範囲が広く、白色干渉計では一度に計測が困難なうねりを計測できます。
- 小型・軽量で様々な機器への組み込んで使用できます。
- リアルタイム[0.1sec(max)]なうねり計測ができます。
◆LUCAS
レンズユニットの検査・調整システムです。
- ダイナミックレンジが広く干渉計では困難な大きな収差も計測できます。
- ベースユニットには、波面センサに加え、オートコリメータや計測光として使用できるレーザ光源、調整を容易にするアライメントカメラを内蔵しています。
- 必要に応じて各種アクセサリ(ビームエキスパンダ、集光レンズ、参照球面など)を選択できます。
使用例
◆LUCAS-NUK
- 半導体ウェーハのうねり計測
- 平面基板上の金属薄膜のうねり計測
- 金属表面やガラス表面のうねり計測
- ハードディスク表面のうねり計測
◆LUCAS
- 非球面レンズや凹凸レンズの検査
- レンズユニットや光学デバイスの調整
- 平面物の反射、透過波面の検査
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LUCAS
PWS-500 小型高速波面センサ
特 長
小型光学系(3.5mm以下)の評価･検査用の高速波面センサです。
- 用途を小型光学系に限定したことにより、低価格を実現しました。
- 製造現場での調整、評価や自動化など多彩なシステムを提案できます。
用途 / 使用例
- 光学部品の開発、検証用途
- レンズの位置調整、品質管理
- レーザー光源の経時変化、形状変化の監視
- 光ピックアップ対物レンズの傾き調整
PWS-1000 高速波面センサ
特 長
Shack-Hartmann方式を採用した、リアルタイムに波面収差を計測する装置です。
- 干渉計による計測データと比較し、高い相関があります。
- 一般的な干渉計と比べ、低価格を実現しました。
用途 / 使用例
- 各種光源の波面の評価
(光ピックアップやレーザプリンタ等の光学部品のアライメント等)
- 光学レンズ、光学部品等の透過・反射波面の評価
- 各種鏡面体の反射波面の評価
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PWS-1000
LC-1 光学レンズ透過波面計測装置
特 長
高速波面センサを応用し、光学レンズの透過波面をリアルタイムで計測し評価する装置です。
- リアルタイム計測によりラインタクトを大幅に短縮できるので生産ラインでの全数検査に対応できます。
- 参照球面を用いたダブルパス方式の採用により、凹レンズ、凸レンズも評価できます。
- 光束径変換ユニットにより、様々な光束径のレンズも評価できます。
使用例
- デジタルカメラレンズ等の群レンズ、組レンズ、単レンズなどの波面の評価
- 非球面レンズの波面の評価
- 凹レンズ、凸レンズの評価
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LC-1
