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収差計測
収差計測:レンズ、ガラス、透過物を解析する
LUCAS-NuK ナノうねり計測ユニット   LUCAS レンズユニット波面計測システム
PWS-500 小型高速波面センサ   PWS-1000 高速波面センサ
LC-1 光学レンズ透過波面計測装置   コリメーティングレンズ/カバーガラス
 
LUCAS-NuK ナノうねり計測ユニット
 画像:LUCAS-NuK ナノうねり計測ユニット
 
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特長
安定したリアルタイムうねり計測を低価格で実現
高さの測定範囲が広く、白色干渉計では一度に計測が困難なうねりを計測できます。
軽量かつ小型で様々な機器への組み込みが可能です。
振動や温度の影響を受けにくく、生産工程での安定した計測を実現します。
リアルタイム[0.1sec(max)]なうねり計測ができます。
量産工程向けの機能・操作性を考慮したソフトウェアが付属しています。
用途/使用例
半導体ウェーハのうねり計測システム
LEDウェーハのうねり計測システム
平面基板上の金属薄膜のうねり計測システム
 
LUCAS レンズユニット波面計測システム
 画像:LUCAS レンズユニット波面計測システム
 
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LUCASシステム構築ガイドの
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特長
本装置はShack-Hartmann方式の波面センサを使用した、レンズユニットの検査・調整システムです。
ベースユニットには、波面センサに加え、オートコリメータや計測光として使用できるレーザ光源、調整を容易にするアライメントカメラを内蔵しています。
必要に応じて各種アクセサリ(ビームエキスパンダ、集光レンズ、参照球面など)を選択できます。
用途/使用例
非球面レンズ、凹凸レンズの検査
レンズユニット・光学デバイスの調整
平面物の反射および透過波面検査
 
NEW PWS-500 小型高速波面センサ
画像:PWS-500 小型高速波面センサ
 
特長
小型光学系(3.5mm以下)の評価・検査用の高速波面センサで、従来製品(PWS-1000)と比べ、さらに小型・軽量・低価格を実現しました。
小型カメラの採用により、従来製品(PWS-1000)に比べ、さらに小型・軽量を実現しましたので、既存製品への組み込みも一層容易になりました。
小型光学系に用途を限定したことにより、さらなる低価格を実現しました。
用途/使用例
光学部品の開発、検証用途
レンズの位置調整、品質管理
レーザー光源の経時変化、形状変化の監視
光ピックアップ対物レンズの傾き調整

 
PWS-1000 高速波面センサ
画像:PWS-1000 高速波面センサ
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特長
Shack-Hartmann方式を採用した、リアルタイムに波面収差を計測する装置です。
可視光領域において、複数の波長の測定を1台で行うことができます。
干渉計による計測データと比較し、高い相関があります。
一般的な干渉計と比べ、低価格を実現しました。
小型・軽量により、既存機器へ組み込んで使用できます。
用途/使用例
各種光源の波面の評価
 (光ピックアップやレーザプリンタ等の光学部品のアライメント等)
光学レンズ、光学部品等の透過・反射波面の評価
各種鏡面体の反射波面の評価
計測例


LC-1 光学レンズ透過波面計測装置
 画像:LC-1 光学レンズ透過波面計測装置
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特長
高速波面センサを応用し、光学レンズの透過波面をリアルタイムで計測し評価する装置です。
リアルタイム計測により、タクトの大幅短縮および生産ラインでの全数検査に対応できます。
干渉計では測定できない大きな収差のレンズ
(デジタルカメラレンズ等の群レンズ・組レンズ・単レンズ)や非球面レンズの波面を評価することができます。
参照球面を用いたダブルパス方式の採用により、凹レンズ、凸レンズとともに測定できます。
光束径変換ユニットにより、様々な光束径のレンズも測定できます。
用途/使用例
光学レンズ、光学部品の透過波面
 
[関連部材]
NA0.55(CD用)、NA0.8(DVD用)、0.9(BD/HD DVD用)
コリメーティングレンズとカバーガラス
画像:コリメーティングレンズとカバーガラス
 
特長
コリメーティングレンズ:
光ピックアップの出射光は集束光のため、それを平行光にするレンズです。
(CD用NA0.55、DVD用NA0.8、BD/HD DVD用NA0.9に対応できます。)
新開発のNA0.9コリメーティングレンズは、BD、HD DVD用に開発され、総合波面収差を限界まで縮小できます。
カバーガラス:
光ピックアップの測定を行う際、光ディスク表面の透明層の代わりにコリメーティングレンズの入光部に取り付ける光学部品です。
(各種メディアの板厚に対応できます。)
用途/使用例
光ピックアップの測定。
 
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レーザを制御する
 
LUシリーズ 半導体レーザ平行光源ユニット    
 
LUシリーズ 半導体レーザ平行光源ユニット
 
 画像:LUCAS レンズユニット波面計測システム

 

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(815KB)
 
特長
光ディスク評価技術からビームクオリティを追求した、レーザ平行光源です。
375nm〜785nmの幅広いレーザ波長をラインナップしました。
レーザコントロール技術で高い出力安定性、高速光変調を可能にしました。
用途/使用例
光ディスク用マスタリング光源
バイオ用光源
露光用光源
 
 

●光応用分野に関するご質問は「光応用分野Q&A」をご確認ください。


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